Thermal Field Emission Scanning Electron Microscope

熱場發射掃描式電子顯微鏡

 

 

　　中央大學地球物理研究所於2007年6月購置一台型號為JSM-7000F熱場發射掃描式電子顯微鏡(簡稱SEM)，並於同時成立電子顯微鏡實驗室。實驗室成立初期由陳維民教授與黃慧君技術員負責，並將儀器調整至最好的狀態。目前實驗室負責教授為馬國鳳與郭力維，技術人員為斷層地質研究室專任助理蕭秀璟。本設備之最大放大倍率可達65萬倍，解析度高達1.2奈米(在電壓為30 kV時)。本顯微鏡同時配置有反射電子偵測器，可分析樣本之成分與表面高程影像。另外，並有微區元素能量分析儀(簡稱EDS)，可定性及半定量分析樣本之組成元素與元素分佈。掃瞄式電子顯微鏡的應用範圍非常廣泛，包括所有需要觀察物質之細微構造之學科領域，如地質、生物、醫學、動物、材料、物理、化學、機械、冶金、電機、半導體等領域。

　　為培養電子顯微鏡操作人才，本實驗室製作訓練教材與操作手冊，並提供每人達25小時之機台操作教育訓練之機會。目前儀器已開放使用，並已訂定電子顯微鏡使用管理與收費辦法。